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自动涂布机的操作方法

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自动涂布机

的操作方法

(1) 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。

(2) 将涂布机

插头插入110V的电源插座,然后按下[POWER]键。

(3) 设定旋转的转速及时间,本机型为二段式加速的Spin Coating,右边为第一 段加速,左边为第二加速。

(4) 依不同尺寸的基材,可更换不同的旋转转盘做徒步的动作。

(5) 按下[PUMP]键,此时旋转转盘会吸住基材,然后将光阻依螺旋状从基材中 心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量,在做光阻涂开动作时可先用氮气将 旋转转盘周围及基材吹乾净。

(6) 盖上涂布机

的保护盖,以防止光阻溅出涂布机外。

(7) 按下[START]键,涂布机便开始做涂布的动作。

(8) 涂布完毕后,打开保护,按下[PUMP]键旋转转盘会放开基材,便可以将基 材取出。